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短チャネル効果 量子力学的効果 無散乱伝導 不純物ばらつき 07 × every 2 years 電界一定スケーリング （> 100nm） ムーアの法則 ポストスケーリング MOSFETの微細化 ポストスケーリング時代ポストスケーリング時代 LSIの微細化 高速化，高機能化，高信頼化ト電極―チャネル間距離（hemtの場合 主として障壁層の厚み）の比に相当する アスペクト比を高く保つことであります。つ まり、障壁層厚をゲート長短縮に伴い薄く していくことでショートチャネル効果を軽減 することができます。しかしドーピングではな短チャネル効果が起きることがわかる。これはソース・ドレインの設定にも影響される。 本研究開発成果の一部は、NEDO委託事業において得られたものである。 1 K Fukuda et al, IWCE 16 2 W Lin, S Iwata, K Fukuda, and Y Miyamoto, Jpn J Appl Phys 55, (16) Http Www Material Tohoku Ac Jp Denko Lecture Denshizairyo Elec Mate 12th Pdf 短チャネル効果 とは